今日(3月6日)早盘，A股半导体设备板块全线走强，拓荆科技涨停，京仪装备、中科飞测、北方华创、芯海科技、中微公司等涨超6%。此前福光股份20CM涨停，拓荆科技、京仪装备涨超10%，中科飞测、富创精密、汇成真空、中微公司等多股涨超6%。
消息面上，全球光刻机巨头ASML最新报告显示，2025-2027年全球300mm晶圆厂设备支出预计将达到1232亿、1362亿、1408亿美元，同比分别增长24%、11%、3%。这一数据远超市场预期，尤其先进制程需求激增，EUV(极紫外)光刻机支出占比持续攀升。有机构指出，光刻机作为半导体设备中市场规模最大(占比24%)的细分领域，已成为行业增长的“核心引擎”。
同时，国内光刻机产业链近期动作频频。上海微电子已实现90nm光刻机量产，并加速向更先进制程突破；福光股份等企业凭借光学组件技术优势，切入国产光刻机供应链。市场分析认为，海外技术封锁(如ASML被要求提供中国客户名单)正在倒逼国产设备厂商加速自主创新。
另外，AI、新能源汽车等下游需求爆发，推动晶圆厂扩产潮，中芯国际、华虹半导体等头部企业资本开支同比增幅超30%，国家大基金三期近期密集调研半导体设备企业。
有相关市场分析人士认为本轮行情不仅是短期资金推动，更是行业景气周期拐点的确认。ASML数据验证了全球半导体设备支出的刚性增长，而国内企业在政策扶持下，有望在成熟制程领域率先实现份额突破。
同时，兴业证券指出光刻机是半导体设备‘皇冠上的明珠’，国产化势在必行。建议关注北方华创(刻蚀/薄膜设备龙头)、上海微电子(光刻机整机制造)、福晶科技(光学元件核心供应商)等标的。
近期中金公司也表示2025年国内半导体设备市场规模或突破500亿美元，国产化率有望从当前的20%提升至35%。建议关注具备核心技术、客户导入顺利的企业。
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