6月30日，截至13:33，半导体材料设备指数上涨2.23%。个股方面，芯源微涨超12%，中科飞测涨超10%，北方华创、华海清科等涨超2%，长川科技涨超1%，中微公司上涨。
热门ETF方面，半导体设备ETF易方达（159558）当前成交额22.91亿元，换手率14.78%。半导体设备ETF易方达连续7日净流入。
消息面上，6月30日，相关研报显示全球半导体设备行业景气周期持续确立。SEMI于6月11日将2026年全球前端半导体设备市场规模增速预期从16.5%大幅上调至23.5%，规模达1522亿美元；今年第一季度全球半导体设备出货额达365.5亿美元，同比增长14%，创历史单季度新高。近期，SK集团会长崔泰源透露，若建设计划按预期推进，海力士产能到2034年将达到当前的三倍；此前韩国公布大规模芯片产业投资计划，拟投入约800万亿韩元修建四座芯片工厂，三星、SK海力士各承建2座，同时未来15年在新一代存储、边缘AI等领域累计投资至少30万亿韩元，投入81万亿韩元打造芯片封装产业集群，目标五年内实现本国DRAM生产能力翻倍。此外，SK海力士正为HBM4大规模量产导入更多后段制程设备，美光、三星亦大手笔布局HBM4技术；2026年前5个月电子专用材料制造规模以上企业利润同比大幅增长；有消息称苹果有意采购中国企业的内存芯片，若落地有望带动国产设备放量；全球半导体设备零部件正经历全链条涨价潮，产业链定价权向设备与零部件环节结构性上移。
中信建投指出，零部件环节是本轮行情弹性最大的方向。零部件企业规模较小、固定成本占比高，涨价直接转化为利润；同时产线扩产周期长达12-18个月，供给弹性最差。重视阀门管路、陶瓷件、射频电源、GAS BOX等海外供应商交期延长带来的国产替代诉求与涨价逻辑。
半导体设备ETF易方达（159558）紧密跟踪半导体材料设备（931743.CSI），该指数由40只业务涉及半导体材料、半导体生产设备的公司股票组成，半导体设备、半导体材料行业合计占比超85%，聚焦半导体产业核心配套环节。
该ETF另有联接基金为（021893、021894）覆盖场外渠道。
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